クォーツ（石英、Quartz）はSiO2のみで構成されたガラスで、非常に低い熱膨張係数（0.5 × 10−6/°C）、高い紫外線透過率、そして優れた化学的耐久性を持ち、半導体工程だけでなく、太陽電池、ディスプレイ、LED、宇宙航空など非常に多様な分野で使用されています。
チョンマハイテックは、クォーツ素材をお客様の要求に応じて最適な工程を選定し、さまざまな形状で製作しています。特に、半導体の主要工程で使用される高純度クォーツウェア（QUARTZ WARE）を主力として生産しています。
高温腐食化学反応に耐える必要がある半導体工程は、石英ガラスの最も重要な応用分野の一つです。半導体用クォーツは、ウェーハを固定して共にエッチングされるフォーカスリングや、工程用チャンバー内で使用されるさまざまな消耗品として使用されます。このように、半導体で使用される部品や構成要素を総称してQUARTZ WAREと呼びます。
QUARTZ WAREの品質と加工精度は、半導体製品の生産歩留まりに直接影響を与える重要な要素であり、チョンマハイテックでは高精度のQUARTZ WAREを生産しています。
半導体は「産業の米」と呼ばれるほど、電気電子および機械、情報通信産業などの核心部品として使用されています。半導体の高性能、小型化、高集積化が求められるにつれ、半導体工程の技術難易度が高まり、工程部品も高精度化、無欠陥化が要求されています。半導体はDiffusion（拡散）、Thin film（薄膜）、Photo（露光）、Etch（エッチング）、CMP&Cleaning（CMPおよび洗浄）の5つの核心工程を数百回繰り返し、微細回路をウェーハ上に積み上げて実現しています。チョンマハイテックは、半導体の主要工程で使用される高精度クォーツ部品を主力として生産しています。
DIFFUSION工程は、半導体の電気的特性を変化させるために、チャンバー内に投入された不純物ガスまたは基板上に蒸着された不純物物質をウェーハ表面に浸透させ、不純物をドーピングする工程です。この工程は拡散原理を利用するためDIFFUSION工程と呼ばれています。この際、チャンバー内にウェーハを搭載するためのQUARTZ BOAT、および搭載されたBOATで工程を行う大型の筒状部品をQUARTZ TUBEと呼びます。
