쿼츠(석영, Quartz)는 SiO2로만 이루어진 유리로서，매우 낮은 열팽창계수(0.5 × 10−6/°C)，높은 자외선 투과 율과 화학적 내구성 등이 우수하여 반도체 공정 뿐 아니라 태양전지，디스플레이，LED, 우주항공 등 매우 다양분야에 사용되고 있습니다.
천마하이테크는 쿼츠소재를 고객의 요구에 맞게 최적의 공정을 선정하여 다양한 형상으로 제작하고 있습니다. 특히, 반도체 핵심공정에 사용되는 고순도 쿼츠웨어(QUARTZ WARE)를 주력으로 생산하고 있습니다.
고온 부식 화학작용에 대한 내성이 필요한 반도체 공정은 석영유리의 가장 중요한 응용분야 중하나입니다. 반도체용 쿼츠는 웨이퍼를 고정하여 함께 식각되는 포커스링이나 공정용 챔버 안에 각종 소모품으로 사용되며, 이와 같이 반도체에 사용되는 부품 또는 부재를 통칭하여 QUARTZ WARE라 합니다.
QUARTZ WARE의 품질과 가공정밀도는 반도체 제품의 생산수율에 직접적인 영향을 끼치는 중요한 제품으로 천마하이테크에서는 고정밀 QUARTZ WARE를 생산하고 있습니다.
반도체는 산업의 쌀이라고 지칭될 만큼 전기전자 및 기계, 정보통신 산 업 등의 핵심 부품으로 사용되고 있습니다. 반도체의 고성능, 소형화, 고집적화가 요구되면서 반도체 공정의 기술 난이도는 점점 높아지고 공정부품 또한 고정밀화, 무결화가 요구되고 있습니다. 반도체는 Diffusion(확산), Thin film(박막), Photo(노광), Etch(식각), CMP&Cleaning(CMP&세정)의 5가지 핵심 공정을 수백 차례 반복하며 미세회로를 웨이퍼 위에 쌓아 올려 구현하고 있으며 천마하이테크는 반도체 핵심공정에 사용되는 고정밀 쿼츠부품을 주력으로 생산하고 있습니다.
DIFFUSION공정은 반도체의 전기적 성질을 변화시키기 위해 Chamber 내에서 투입된 불순물 gas 또는 기판 위 증착된 불순물 물질을 와이퍼 표면으로 침투시켜 불순물을 Doping하는 공정으로 확산원리를 이용하여 Diffusion 공정이라 부르게 되었습니다. 이때 Chamber 내부에 WAFER를 적재할 수 있는 QUARTZ BOAT, 장착된 BOAT에 공정을 진행하는 대형 관 모양으로 된 것을 QUARTZ TUBE라고 합니다.
