石英（Quartz）是一种仅由SiO2组成的玻璃，具有极低的热膨胀系数（0.5×10^-6/°C）、高紫外线透过率和优异的化学耐久性。它不仅应用于半导体工艺，还广泛应用于太阳能电池、显示器、LED、航空航天等多个领域。
天马HI-TECH根据客户需求，采用最佳工艺，将石英材料加工成各种形状，尤其擅长生产用于半导体核心工艺的高纯度Quartz Ware。
耐高温腐蚀化学作用的半导体工艺是石英玻璃最重要的应用领域之一。半导体用石英通常用于固定晶圆并同时进行刻蚀的聚焦环或作为工艺用腔体中的各种耗材。这些在半导体中使用的部件或组件统称为QUARTZ WARE。
QUARTZ WARE的质量和加工精度对半导体产品的生产良率有直接的影响，因此天马HI-TECH生产高精度的QUARTZ WARE产品。
半导体被称为“工业的米”，作为电气电子、机械、信息通信产业等领域的核心部件而广泛使用。随着对半导体高性能、小型化和高集成化的需求日益增加，半导体工艺的技术难度逐渐提高，同时工艺部件也需要具备高精度和无缺陷特性。 半导体通过Diffusion（扩散）、Thin Film（薄膜）、Photo（曝光）、Etch（刻蚀）、CMP&Cleaning（CMP与清洗）这五大核心工艺重复数百次，在晶圆上堆叠微细电路。天马HI-TECH专注于生产用于半导体核心工艺的高精度石英部件。
DIFFUSION工艺是通过将不纯气体或沉积在基板上的不纯物质渗透到晶圆表面，从而改变半导体电学特性的工艺。此工艺利用扩散原理，因此被称为Diffusion工艺。在此过程中，用于在腔体内装载晶圆的部件称为QUARTZ BOAT，而与QUARTZ BOAT一起进行工艺的大型管状部件称为QUARTZ TUBE。
